教学功能
- 如先行注册检查点，即可反复高效检查同样的样品。
全景图像
- 仅通过从外观图像上指定摄影范围，就可以拍摄出最合适的全景图像。
步进功能
- 具有此功能，便于检查排列成网格状的样品。可设定递进距离与反复次数，横竖移动方向。
- 载物台按方格状反复进行步骤移动。
预设功能
- 可简单地预先注册观察位置与观察条件。只需点击注册好的编号，即可重现设定好的摄影条件。
便于查看的测量结果
- 可以用一览表的形式显示计量结果，便于确定不良点所在位置。
AGC功能
- 配合各种情况，设定最适当的观察条件。
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| 即使条件变化多样，也可即时设定最适当的亮度对比。 | 选择需注意的范围，设定最适当的亮度对比，观察指定的范围。 |
