3.“STATUS” LED灯闪烁相关问题
(1)“STATUS” LED灯为红色
原因:
大的真空泄漏;
真空泵异常包括机械泵和分子泵;
泄漏阀异常
如果发生这种情况,请停止Labsolutions软件,并关闭PC和MS电源,检查和修理真空泄漏后再打开PC和MS电源,启动Labsolutions软件。
(2)“STATUS” LED灯闪烁绿色
当分子泵出入准备,或真空度还没有达到目标值,LED灯闪烁绿色。
待机模式时,LED灯闪烁绿色。
(3)“STATUS” LED灯闪烁绿色且Labsolutions屏幕显示为待机状态。
DL管没有安装。安装DL管。
DL管断开连接。检查DL管连接是否正确。
检查PG值,如果PG值大于300Pa,检查是否有真空泄漏。