DetAPCn 氢气流量超过规定值 [错误代码:2300 2301 2302 2303]
氢流量超过了规定值。如果在APC操作期间更改进气压力,则可能会发生这种情况。
在APC运作期间,请勿开关气体供给源头的阀门。
请在供气的状态下再次启动APC。
请确认氢气的供给压力在以下的范围内。
请确保氢气供应压力稳定。
如果在检查上述情况后没有改善,则可能是APC控制系统出现故障。
关闭气体源头阀门,切断装置的主电源,请联系本公司营业所、代理商、本公司指定的服务代表。