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Flow# 压力/流量偏置值存在偏差 [错误代码:2338 2339 2340 2341 2342 2343]

Flow# 压力/流量偏置值存在偏差 [错误代码:2338 2339 2340 2341 2342 2343]

       流量控制器的压力传感器的输出值变化很大。

 

 

 有压力传感器异常的可能性。停止气体供给,关掉装置的主电源,请联系本公司营业所、代理商、本公司指定的服务代表。