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气体切换模块n 主达不到设定值 [错误代码:2346 2347]

气体切换模块n 主达不到设定值 [错误代码:2346 2347]

       由于压力控制错误 (泄漏到外部) ,压力无法上升到设定值。

 

 

 请确认气体有正常供给,气路连接部分没有泄漏。根据泄漏的程度和压力设置,可能会在主模块之外的部分发生泄漏。