DET#n 点灯失败 [错误代码:4208 4209 4210 4211]
BID等离子体点灯失败。
・确认检测器流量是否适当。
・配管连接之后等,流路内空气置换不充分的情况下,有时会难以点亮。
检测器气体供给开始1小时左右后,请再次进行点灯动作。
・请确认柱连接或流路连接没有泄漏。 如果在上述确认后未点亮,则可能是氦气过滤部件器等故障。
请切断装置的主电源,停止气体的供给,联系本公司营业所、代理商、本公司指定的服务代表。
DET#n 点灯失败 [错误代码:4208 4209 4210 4211]
・确认检测器流量是否适当。
・配管连接之后等,流路内空气置换不充分的情况下,有时会难以点亮。
检测器气体供给开始1小时左右后,请再次进行点灯动作。
・请确认柱连接或流路连接没有泄漏。 如果在上述确认后未点亮,则可能是氦气过滤部件器等故障。
请切断装置的主电源,停止气体的供给,联系本公司营业所、代理商、本公司指定的服务代表。