超过SCD真空泵使用时间 [错误代码:9071]
SCD真空泵的使用时间超过设置的阈值。
更换或维护真空泵,然后重置计数器。
※真空泵的更换方法请参照以下
真空泵的检查_.pdf
※计数值的复位请参照以下内容。
(HOME)>[检测器]>[辅助菜单]>按[SCD更换部件计数器]。
显示 [SCD更换部件计数器] 画面。
“SCD更换部件计数器”画面_.pdf
超过SCD真空泵使用时间 [错误代码:9071]
更换或维护真空泵,然后重置计数器。
※真空泵的更换方法请参照以下
真空泵的检查_.pdf
※计数值的复位请参照以下内容。
(HOME)>[检测器]>[辅助菜单]>按[SCD更换部件计数器]。
显示 [SCD更换部件计数器] 画面。
“SCD更换部件计数器”画面_.pdf