超过SCD臭氧捕集阱使用时间 [错误代码:9072]

 来自真空泵的排气中混入臭氧的风险增大了。更换臭氧收集器填充剂并重置计数。

※请参照以下内容更换臭氧收集器。
更换臭氧收集器_.pdf

※有关如何重置计数值的信息，请参阅以下内容
(HOME)>[检测器]>[辅助菜单]>按[SCD更换部件计数器]。
显示 [SCD更换部件计数器] 画面。
“SCD更换部件计数器”画面_.pdf