DetAPCn 尾吹气达不到设定值 [错误代码:2014 2017 2020 2023]
由于以下原因，压力和流量有可能达不到设定值。
・供气压力不足
・流路管线连接处有泄漏
・气源到GC间的气路阻力大
(连接的管线较长或管线内径较细)
・供气压力不足
・流路管线连接处有泄漏
・气源到GC间的气路阻力大
(连接的管线较长或管线内径较细)
- 请确认气源的总开关是否打开。
- 请确认气体的供给压力在以下范围内。
- 请确认气源的供应压是否达到以下尾吹气所需源压力。
- 检查管线连接是否松动或泄漏。 ・请联系本公司指定的服务人员，确认所使用的管线的内径和长度。