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CARn 过压[错误代码:2214 2215 2216 2217]

CARn 过压[错误代码:2214 2215 2216 2217]

      进样口的压力太大。 如果在AFC运行过程中更改供给气体压力,将可能发生该错误。
 
 

 

  • AFC运行过程中请勿开闭供给气体的总阀。
  • 请在供给气体的状态下重新启动GC。
  • 请确认气体的供给压力是否在下述范围内。
  • 请确认气体的供给压力是否稳定。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系。

AFC、APC的控制范围_总流量和柱入口压力_.pdf