DetAPCn 放电气体无法正常控制[错误代码:2152 2153 2154 2155]

• 请确认BID检测器气体的供给压力是否在下述范围内。
   
  
• 请确认是否为输送BID检测器气体所需要的供给压。
  
• 请确认气体的供给压力是否稳定。
• 请确认BID吹扫气体流量是否变为5～10 mL。关于吹扫气体流量的确认方法及调整方法，请参考下述页面。
  BID吹扫气体_.pdf

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系。