APCn 氢气流量超过规定值[错误代码:2304 2305 2306 2307 2308 2309 2310 2311 2312 2313 2314 2315 2316 2317 2318 2319 2320 2321]
氢气流量超过规定值。如果在APC运行过程中更改供给气体压力，将可能发生该错误。
- APC运行过程中请勿开关供给气体的总阀。
- 请在已供给气体的状态下重新启动GC。
- 请确认氢气的供给压力是否在下述范围内。
- 请确认气体的供给压力是否稳定。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误，其原因可能是APC控制系统发生故障。此时请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系。