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无法连接到SCD流量控制器2[错误代码:6152]

无法连接到SCD流量控制器2[错误代码:6152]

       无法与SCD气体控制用的流量控制器进行通信。
 
 

 请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并向您所在区域内的凯发k8国际分公司咨询部件更换事宜。