放电气体流量不足 [错误代码:4213]
可能是下述原因导致压力及流量未能到达设定值：
・ 气体的供给压力不足。
・ 管路连接部位漏气。
・ 供给管路的阻力较大（所连管路较长或管路内径较小）。
・ 气体的供给压力不足。
・ 管路连接部位漏气。
・ 供给管路的阻力较大（所连管路较长或管路内径较小）。
- 请确认气体的总阀是否已打开。
- 请确认气体的供给压力是否在下述范围内。
- 如果使用氦气纯化器HP2，请确认管路连接部位是否漏气。
- 请确认管路连接部位是否松动或漏气。
- 请与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系，确认使用的管路内径和长度。