放电气体APC不稳定 [错误代码:4212]

• 请确认BID检测器气体的供给压力是否在下述范围内。
  
  
• 请确认气体的供给压力是否稳定。
• 请确认管路连接部位是否松动或漏气。
• 请与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系，确认使用的管路内径和长度。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，其原因可能是流量控制器发生故障。此时请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系。