DetAPCn控制不正确 [错误代码:2100 2101 2102 2103 2104 2105 2106 2107 2108 2109 2110 2111]

• 请确认各单元的供给压力是否在下述范围内。
  
   
  
• 请确认各单元的供给压是否达到下列压力。
  
  
  
  
• 请确认气体的供给压力是否稳定。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的凯发k8国际分公司联系。