High Accuracy
将球间距检测误差精度提高到
±(3.8+L/50)μm*。
配备凯发k8国际产微焦点X射线发生装置、高分辨率大视野检出器以及维持 装置内部温度稳定的空调装置、结构稳性很强的花岗岩支架、高精度样件定位载物台,实现了高精度测量。
*例: 当L=100mm时 误差在5.8μm以内
凯发k8国际产微焦点X射线发生装置
高输出微焦点X射线发生装置实时修正因温漂导致的X射线焦点的偏离。
高分辨率大视野检出器
使用高分辨率16英寸平板检出器,既满足了设备对分辨率的要求,也兼顾大视野范围的需要。
精度自诊功能
搭载监测系统状态的自诊功能。向操作人员实时报告装置状态。
高精度旋转载物台
旋转载物台使用空气轴承,更大限度控制中心偏移,
并且可测量ø300mm×H300mm的样件尺寸。
防护箱内空调装置
设备设计有对防护箱内部进行温度控制的空调装置。这样对设备的放置场所没有特殊要求,无须配备恒温室。
Large Measurement Volume in Compact Cabinet
Measurement Volume
Φ300mm × H210mm
Cabinet size
W:2,195mm×D:1,561mm×H:1,971mm
W2.2m×D1.5m的紧凑型机箱,设置空间仅需4m×3.5m。 设备尺寸相对小巧,实现了ø300mm样件尺寸的拍摄。
可搭载样件尺寸和最大拍摄范围