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10-1 Si板上的SiO2图案观察例

10-1 Si板上的SiO2图案观察例

Si板上的SiO2图案观察例

表面形貌像（左图）中明亮的部分为SiO2。电流像（右图）中的明暗与表面形貌像相反。可知Si基板上存在不通电的部分。（使用电流测定系统）

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