- SCD氢气过压 [错误代码:6164]
- SCD氮气过压 [错误代码:6168]
- SCD燃烧器用氧气无法正常控制 [错误代码:6171]
- SCD燃烧器用氧气处于过压状态 [错误代码:6172]
- SCD臭氧发生器用氧气无法正常控制 [错误代码:6175]
- SCD臭氧发生器用氧气处于过压状态[错误代码:6176]
- 检测到DET#4 SCD过电流 [错误代码:6181]
- DetAPCn氢气阀没有正常闭合 [错误代码:2058 2061 2064 2067]
- DetAPCn ECD气体无法正常控制 [错误代码:2164 2165 2166 2167]
- DetAPCn ECD气体阀没有正常闭合[错误代码:2160 2161 2162 2163]
- DetAPCn ECD气体达不到设定值 [错误代码:2156 2157 2158 2159]
- DetAPCn 放电气体达不到设定值 [错误代码:2144 2145 2146 2147]
- DetAPCn 空气阀没有正常闭合 [错误代码:2059 2062 2065 2068]
- APCy 阀没有正常闭合 [错误代码:2069 2070 2071 2072 2073 2074 2075 2076 2077 2078 2079 2080 2081 2082 2083 2084 2085 2086]
- 通讯超时 [错误代码:4001]
- 信息无法被接收 [错误代码:4003]
- 传送指令无效 [错误代码:4005]
- 传送参数超出范围 [错误代码:4006]
- 传送中断 [错误代码:4007]
- 文件传送错误 [错误代码:4008]