- DAMCn 参比气达不到设定值[错误代码:2276 2277 2278 2279]
- DetAPCn 尾吹气过压[错误代码:2222 2225 2228 2231]
- DetAPCn 氢气过压 [错误代码:2223 2226 2229 2232]
- DetAPCn空气过压 [错误代码:2224 2227 2230 2233]
- DetAPCn 放电气体过压 [错误代码:2264 2265 2266 2267]
- DetAPCn ECD气体过压 [错误代码:2268 2269 2270 2271]
- APCx 过压[错误代码:2234 2235 2236 2237 2238 2239 2240 2241 2242 2243 2244 2245 2246 2247 2248 2249 2250 2251]
- CARx气体压力超出范围[错误代码:2138 2139 2140 2212]
- DetAPCn 放电气体阀没有正常闭合 [错误代码:2148 2149 2150 2151]
- DetAPCn 放电气体无法正常控制[错误代码:2152 2153 2154 2155]
- APCn 氢气流量超过规定值[错误代码:2304 2305 2306 2307 2308 2309 2310 2311 2312 2313 2314 2315 2316 2317 2318 2319 2320 2321]
- 检测到氢气泄漏 [错误代码:51]
- AOC版本不一致[错误代码:9081]
- SCD 氮气无法正常控制 [错误代码:6167]
- SCD 氢气无法正常控制[错误代码:6163]
- SCD臭氧发生器用氧气的设置流量低[错误代码:6156]
- SCD燃烧器设定温度过低 [错误代码:6155]
- 检测到SCD光电倍增管漏光 [错误代码:6154]
- 无法连接到SCD流量控制器2[错误代码:6152]
- 无法连接到SCD流量控制器1[错误代码:6151]