- SCD加热器继电器固定在ON [错误代码:6149]
- SCD WDT 错误 [错误代码:6148]
- SCD氢气供应压力不足 [错误代码:6147]
- SCD氧气供应压力不足 [错误代码:6146]
- 放电气体流量不足 [错误代码:4213]
- 放电气体APC不稳定 [错误代码:4212]
- 氢气、空气APC不稳定 [错误代码:4207]
- 气体切换模块n 辅 阀没有正常闭合[错误代码:2356 2357]
- 气体切换模块n 吹扫 阀没有正常闭合[错误代码:2354 2355]
- 气体切换模块n 主 阀没有正常闭合[错误代码:2352 2353]
- DAMCn 参比气过压[错误代码:2292 2293 2294 2295]
- DAMCn 尾吹气过压 [错误代码:2288 2289 2290 2291]
- 无法正确控制CARn清除 [错误代码:2091 2092 2093 2203]
- DetAPCn控制不正确 [错误代码:2100 2101 2102 2103 2104 2105 2106 2107 2108 2109 2110 2111]
- APCn控制不正确[错误代码:2112 2113 2114 2115 2116 2117 2118 2119 2120 2121 2122 2123 2124 2125 2126 2127 2128 2129]
- AOCm CH2指令错误 [错误代码:6007 6029]
- AOCm 样品架异常 [错误代码:6001 6023]
- AOCm 进样针异常 [错误代码:6002 6024]
- AOCm 针杆异常 [错误代码:6003 6025]
- AOCm 不能启动 [错误代码:6004 6026]